體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設置有一個(gè)氣體流量調節閥門(mén), 閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調節到測量的滿(mǎn)量程, 在工作的過(guò)程當中, 控制器的入口和出口之間會(huì )產(chǎn)生一個(gè)氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿(mǎn)量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí), 無(wú)論用戶(hù)工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。

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氣體質(zhì)量流量控制器如何選擇密封材料

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。

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選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應當注意什么？

這一點(diǎn)關(guān)系到用戶(hù)的切身利益，涉及的問(wèn)題也比較多，因而我們盡可能地給以祥盡﹑客觀(guān)的回答。

(1) 注意選擇正確的品牌

一般應當衡量生產(chǎn)廠(chǎng)家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷(xiāo)售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。

(2) 注意選擇正確的量程

A. 將您需要的流量換算成標準狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量）。

B. 根據廠(chǎng)家提供的質(zhì)量流量轉換系數表，將您所用氣體的質(zhì)量流量值換算成與氮氣（標定氣體）等價(jià)的質(zhì)量流量值。如果您希望按您實(shí)際使用的氣體標定，請向廠(chǎng)家說(shuō)明。有關(guān)質(zhì)量流量轉換系數的問(wèn)題，以下還有進(jìn)一步解答。

C. 確定所需標準量程。廠(chǎng)家一般有自己的各種規格的標準量程，您實(shí)際使用的流量值應接低于某個(gè)標準量程值。標準量程的選取要避免過(guò)大或過(guò)小。質(zhì)量流量的誤差指標是按滿(mǎn)量程值的百分比規定的，如果實(shí)際流量較小而量程值選取過(guò)大，則測量值的相對誤差較大。

期望大家在選購流體系統控制單元時(shí)多一份細心，少一份浮躁，不要錯過(guò)細節疑問(wèn)。想要了解更多流體系統控制單元的資訊，歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)?。?！